AL110/MX61自动晶圆搬送机/200mm半导体检查显微镜
● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)
● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)
● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性
● 灵活的程式设计,最短的搬送时间极大的提高了生产效率
● AL110-12 3--VMM 晶圆自动搬送机台(NEW)
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型号
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200mm型
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200/150mm
兼容型
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100/125/150mm
兼容型
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项目
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L
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LM
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LB
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MB
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LMB
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L
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LM
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LB
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MB
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LMB
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L
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LM
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LMB
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晶圆直径
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200晶圆边
200mm切口
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150mm晶圆平边
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100/125/150mm
晶圆平边
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观察方式
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连续和采样
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转换方式
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正面宏观检测
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背面宏观检测
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2次背面检测
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表面显微观测
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适用显微镜
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MX61/MX61L型
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规格(mm)
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580(W)*580(D)*297(H)
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490(W)*520(D)*297(H)
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重量(kg)
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30
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32
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31
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31
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33
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30
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32
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31
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31
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33
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26
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28
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30
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能耗
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电源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力：-67kPa～-80kPa
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