D07-19B型气体质量流量控制器 - 气体质量流量计 - 液体/气体流量计 - 流体控制 - 产品分类

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产品名称：D07-19B型气体质量流量控制器

产品编号：SY1805007

产地：中国

D07-19B型质量流量控制器 ★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

详细参数

标准:

气体质量流量用氮气(N₂)标定。标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa

输入和输出:

输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA

输入设定电压…………0～+5.00V

输出电压检测…………0～+5.00V

产品技术指标

满量程流量范围（N₂)

5SCCM～30SLM

控制范围

2～100％F.S.

阀类型（阀初始状态）

电磁调节阀（常闭）

准确度	≤10SLM	±1％F.S.
准确度	＞10SLM	±2％F.S.

线性	≤10SLM	±0.5～1％F.S.
线性	＞10SLM	±2％F.S.

重复精度

±0.2％F.S.

响应时间

≤4sec

工作温度范围

5～45℃

工作压差	≤10SLM	0.1～0.5MPa
工作压差	＞10SLM	0.1～0.3MPa

耐压

3MPa

漏气率

1×10^-9SCCSHe

密封材料

氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶

接头选择	VCR	1/4”或φ4hose、φ6hose
接头选择	Swagelok	1/8”、1/4”或φ3、φ6mm

电插头形式

DB15 pin(Male)

抗电磁干扰

重量

2.6kg